• 티알아이 머트리얼즈(주)

    국내 산업 각 분야에서 필요로 하는 모든 가스를 공급, 판매하는 산업용가스 전문회사

당사 특수가스는 산업용가스를 정제하여 순도를 Up Grade 한 초고순도 가스, 2가지 이상의 초고순도 가스를 혼합하여 제조한 혼합가스등을 최신 정제시스템 및 정밀 분석시스템을 통해 제조하고 있으며 또한, 국내에서 생산되지 않는 수입가스 등을 외국계 회사와 독점 계약하여 수입하고 있습니다.
당사 특수가스사업부는 반도체용 특수가스, 초고순도가스, 혼합가스, 표준가스, 기타특수가스로 분류하여 수요처에 공급합니다.


반도체가스

  • · 용도
  • CVD용 가스, 실란계 가스, 에칭, 크리닝용 가스 등

반도체 및 유사공정(Dlode, Transister, IC, LSI, 피냐, LCD 등)에 사용되는 가스를 말하여, 실란계가스 등을 비롯해 Carrlet 가스에 이르기까지 많은 종류의 가스가 사용되고 있습니다. 가스의 특성을 보면 가연성, 폭발성, 유독성인 것들이 많으므로 취급에 있어서 특히 주의를 요합니다. 당사에서는 국내제조 및 독점 수입을 통해 안정적…