• 티알아이 머트리얼즈(주)

    국내 산업 각 분야에서 필요로 하는 모든 가스를 공급, 판매하는 산업용가스 전문회사

특수가스

반도체가스

용도

CVD용 가스, 실란계 가스, 에칭, 크리닝용 가스 등

본문

반도체 및 유사공정(Dlode, Transister, IC, LSI, 피냐, LCD 등)에 사용되는 가스를 말하여,
실란계가스 등을 비롯해 Carrlet 가스에 이르기까지 많은 종류의 가스가 사용되고 있습니다.
가스의 특성을 보면 가연성, 폭발성, 유독성인 것들이 많으므로 취급에 있어서 특히 주의를 요합니다.
당사에서는 국내제조 및 독점 수입을 통해 안정적으로 거래처에 반도체 가스를 공급합니다.



종류

CVD용 가스
NH3, CH4, N2O, WF6

실란계 가스
SlH4, Sl2H6, SiCl4, Sicl3H, SiCl2H2, SiF4

도핑용
ASH3, B2H6, H2Se, PH3, G도4

에칭, 크리닝용 가스
HCl, Cl2, BCl3, C3F8, HBr, NF3, SF6, CF4, C2F6, C4F8, CHF3

이온주입용 가스
ASH3/H2, PH3, PH3/H2, BF3, He, N2, Ar, H2