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산소(Oxygen : O₂)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 16:19:56 +0900

공급방식

용기	규격	용량	비고
Cylinder	10.2L, 40.2L	12.0Mpa	기체
L.G.C	175L	169kg	액체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
	N₂(ppm)	H₂O(Dew point)	CO(pm)p	CO₂(ppm)	THC(ppm)
99.5이상	〈 50	＜-76˚C	＜1	＜1	＜1

탄산(Carbon Dioxide : CO₂)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 16:14:16 +0900

공급방식

용기	규격	용량	비고
Cylinder	40.2L, 47L, 67.5L	20kg, 30kg, 40kg	액체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
	N₂(ppm)	H₂O (Dew point)	CO(pm)p	CO₂(ppm)	THC(ppm)
99.5이상	＜50	＜-76˚C	＜1	＜1	＜1

에틸렌(Ethylene : C₂H₄)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 15:56:38 +0900

공급방식

용기	규격	용량	비고
Cylinder	35L, 47L	10kg, 13kg	기체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
순도(%)	O₂(ppm)	H2O (ppm)	CO+CO₂(ppm)	THC(ppm)	C₃& HEAVIER	H₂	H₂S
99.9이상	＜5	＜5	＜10	＜500	＜10	＜5	＜2

아르곤(Argon : Ar)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 15:26:03 +0900

공급방식

용기	규격	용량	비고
Cylinder	10.2L, 47L	12.0Pa	기체
L.G.C	175L	200kg	액체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
순도(%)	O₂(ppm)	H₂O(Dew point)	CO+CO₂(ppm)	THC(ppm)
99.999이상	＜1	＜-76˚C	＜1	＜1

질소(Nitrogen : N₂)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 15:12:38 +0900

공급방식

용기	규격	용량	비고
Cylinder	10.2L, 47L	12.0Pa	기체
L.G.C	175L	120kg	액체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
	O₂(ppm)	H₂O(Dew point)	CO(pm)p	CO₂(ppm)	THC(ppm)
99.999이상	＜1	＜-76˚C	＜1	＜1	＜1

헬륨(Helium : He)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 15:04:11 +0900

공급방식

용기	규격	용량	비고
Cylinder	47L	13.0Mpa	기체
L.G.C	30/30/100/150/200/250/350/500/1000	30/60/100/150/200/250/350/500/1000	액체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
순도(%)	O₂(ppm)	H₂O(Dew point)	N₂	THC(ppm)
99.999이상	＜1	＜-76˚C	＜3	＜1

암모니아 (Ammonia : NH₃)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 10:45:43 +0900

공급방식

용기

규격

용량

비고

Cylinder

93L,930L,1395L

(at 0.8Mpa, 21˙C)

50kg,500kg,750kg

액체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
	H₂O(WT%)	OIL(ppm)
99.9이상	＜0.5	＜10

수소(Hydrogen : H₂)

관리자 — Mon, 30 Apr 2018 09:50:02 +0900

공급방식

용기	규격	용량	비고
Cylinder	40, 47L	12.0Mpa	기체

품질기준

순도(%)	불순물(impurity)
순도(%)	O₂(ppm)	H₂O(Dew point)	CO+CO₂(ppm)	THC(ppm)
99.999이상	＜1	＜-76˚C	＜1	＜1